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泰勒霍普森 PGI輪廓儀信息
泰勒霍普森 PGI(Precision Geometric Instrument)系列輪廓儀作為表面計量領域的性設備,在微觀形貌與粗糙度測量領域展現(xiàn)出的技術前瞻性。該系列產(chǎn)品專為復雜曲面、自由曲面及精密光學元件的三維形貌表征而構建,其測量系統(tǒng)架構融合了前沿的非接觸式白光干涉技術與接觸式探針掃描技術,配合高分辨率 Z 軸光柵傳感器(分辨率達 0.1nm),可實現(xiàn)納米級精度的表面微觀特征捕捉,適配半導體晶圓、微創(chuàng)醫(yī)療器械組件、超精密模具型腔及前沿科研實驗室等對測量精度要求嚴苛的應用場景。
在核心性能參數(shù)方面,PGI 系列具備 0.01nm 的垂直分辨力與 ±0.1% 的測量線性度,其動態(tài)范圍覆蓋 100:1 至 1,000,000:1,能夠無縫銜接從超光滑光學表面(Ra<0.1nm)到高粗糙度工程材料(Ra>100μm)的全量程測量需求。儀器搭載的智能掃描系統(tǒng)集成了激光自動對焦模塊與自適應路徑規(guī)劃算法,可實現(xiàn)復雜曲面的三維形貌自動采集,測量重復性優(yōu)于 0.5%,顯著提升了精密計量的效率與可靠性。
配套的 TalyMap® 分析軟件采用多尺度分解算法與三維形貌表征模型,全面支持 ISO 4287(線粗糙度)、ISO 25178(面粗糙度)、ASME B46.1 等國際標準,可提供包括輪廓算術平均偏差(Ra)、均方根偏差(Rq)、表面紋理方向(Str)、峰值密度(Spd)等在內(nèi)的 200 余種表面特征參數(shù)。軟件的三維可視化模塊支持形貌渲染、截面分析、頻率分解等高級功能,能夠直觀呈現(xiàn)表面微觀結構與宏觀性能的關聯(lián)性,為精密制造過程中的質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化提供量化依據(jù)。